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莱伯泰科高端质谱赋能新质生产力,助力我国半导体产业蓬勃发展-龙8唯一官网

更新时间:2024-07-18      点击次数:58

        顺义区融媒体中心消息  随着我国半导体产业快速发展,质谱仪作为芯片制造过程中的关键检测设备,其国产替代意义重大。北京莱伯泰科仪器股份有限公司(以下简称“莱伯泰科”)质谱研发部产品经理王娟带领团队迎难而上,破解高端质谱仪研发难题,为国产质谱仪的发展贡献了智慧与力量。

 

labms 5000 电感耦合等离子体串联质谱仪(icp-ms/ms)

莱伯泰科是一家专业从事实验分析仪器研发、生产和销售的科技型公司,王娟现担任公司质谱研发部高级产品经理。她曾在多家跨国仪器公司从事质谱产品的龙8国际官网点此进入的技术支持、产品开发、行业方案制定等工作,具有丰富的质谱产品开发和应用工作经验。加入莱伯泰科4年多以来,王娟作为主要项目参与者,与团队成员一起攻关研发了单四杆质谱、串联三重四杆质谱等。

在2023年度中国检验检测学会科学技术奖获奖评选中,莱伯泰科凭借其《硅片表面金属离子国产检测仪器首创项目》荣获科学技术进步奖二等奖,这一项目的带头人正是王娟。

过去,我国半导体行业中高端质谱仪完全依赖进口。王娟团队从2019年开始专攻电感耦合等离子体质谱的研发,历经艰辛终于成功推出labms 3000单四杆电感耦合等离子体质谱仪。随后,团队又开展了电感耦合等离子体串联四杆质谱仪、电感耦合等离子体四杆-飞行时间质谱仪的研发,并于2023年推出深度进军半导体行业的labms 5000电感耦合等离子体串联四杆质谱仪,打破了国外公司在该市场一家独大的局面。

 

王娟(右)和团队成员沟通设计细节

国产质谱仪能够与进口设备抗衡,关键在于自主创新。王娟团队在labms 5000电感耦合等离子体串联四杆质谱仪的软硬件设计上进行了大胆突破,使其拥有了更高的灵敏度、更低的检出限和更快的分析速度。该产品符合semi s2认证,满足了半导体制程最高级别制造客户的要求。

谈及研发国产质谱仪的初心,王娟表示,团队怀揣着使命感,希望为国产半导体产业链自主可控尽一份力,在压力和迫切感之下,团队成员不断学习、提高自己的能力,与产品共同成长。

目前,莱伯泰科与国内头部晶圆企业建立了合作关系,计划将labms 5000电感耦合等离子体串联四杆质谱仪辐射到半导体上下游产业单位。王娟表示,团队将针对行业特点开发湿电子化学品、实时在线圆中超痕量元素等分析方法,为半导体制程中的质量控制提供技术支撑,助力半导体行业发展。

 

王娟(右二)和团队成员讨论技术难点

随着半导体行业对质谱检测需求的不断提升,国产质谱仪的市场规模也将持续扩大。王娟充满信心地说:“莱伯泰科质谱研发团队将继续加大研发投入,提升国产高端串联质谱仪器的性能,为半导体行业提供更全面、高效的龙8国际的解决方案,巩固国产质谱仪在高端检测领域的领先地位。” 

在莱伯泰科和王娟带领的质谱研发团队不懈努力下,国产质谱仪正在成为推动我国半导体产业发展重要的力量!

 

转自顺义公众号

 

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